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石墨舟的使用和制造情況介紹

石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動(dòng)門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。

　　使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。

石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸漬有樹脂，石墨舟毛坯經(jīng)過固化處理、加工、高溫處理使樹脂充分炭化，在石墨舟表面形成一層薄膜，包括以下步驟：先把石墨原材料放置在真空爐內(nèi)高溫純化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入調(diào)配的樹脂中浸漬；石墨舟毛坯料固化處理形成坯體；固化后的坯體加工成成品；加工完的成品高溫處理，樹脂炭化，在成品表面形成薄膜；能夠在石墨舟片表面形成一層均勻的抗氧化薄膜使用壽命長，降低了使用和維護(hù)成本，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。