直拉單晶爐的熱體系,也便是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶成長保持在 溫度下進(jìn)行的整個(gè)體系。
石墨熱場一般包含(石墨資料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
石墨熱場簡略的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系。我們出產(chǎn)的石墨熱場常見的是18寸,22寸寸和24寸。一種盛行的設(shè)計(jì)方案是選用石墨資料制造熱場隔熱部件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨保溫資料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維資料組成,在挨近熱場中心的內(nèi)外表往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合資料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。因?yàn)槭Y料本身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱資料之間不需求預(yù)留額外的空間。石墨資料具有優(yōu)異的隔熱功能,本錢一般較金屬屏低,而且非常易于運(yùn)用。就制造本錢,耐用性和可維護(hù)性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有 的優(yōu)勢。通過出產(chǎn)實(shí)踐,金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
來自于焊料的金屬物質(zhì)會(huì)沉積在金屬隔熱屏的外表,因?yàn)楦魺崞僚c所附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同,金屬隔熱屏?xí)a(chǎn)生彎曲變形與開裂,這會(huì)下降金屬屏的隔熱功能。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很簡單遭到危害,導(dǎo)致屏的外表構(gòu)成孔洞,熱量會(huì)從這些孔洞中傳遞出去。
當(dāng)然,運(yùn)用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏?xí)由旖饘贌釄龅倪\(yùn)用壽數(shù),可是卻增加了可觀的本錢。比較好的解決方案是選用石墨資料制造隔熱部件,實(shí)踐證明,盡管在釬焊工藝中會(huì)有許多焊料沉積在石墨隔熱資料的外表,可是卻不會(huì)產(chǎn)生熔解的焊料與石墨隔熱資料的熔合現(xiàn)象。盡管有人會(huì)質(zhì)疑,認(rèn)為石墨資料比金屬資料更簡單吸收水分,水分對釬焊工藝進(jìn)程危害很大,可是,實(shí)踐證明熱場循環(huán)往復(fù)的升溫與降溫會(huì)很好地打掃石墨隔熱材猜中的水分。