一、清洗前的招認(rèn)
1、石墨舟在運(yùn)用逾越100次時(shí)需求操作人員及時(shí)檢查鍍膜情況,出現(xiàn)鍍膜反常,需求進(jìn)行清洗招認(rèn)。硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜的顏色是藍(lán)色,片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種顏色或片與片間顏色差異較大,都是鍍膜反常,需求及時(shí)招認(rèn)反常原因。
2、由工藝人員對石墨舟的鍍膜情況進(jìn)行剖析后,確定石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求替換,將需清洗的石墨舟交由設(shè)備人員清洗。
3、石墨舟損壞后,由出產(chǎn)人員取出石墨舟內(nèi)悉數(shù)的硅片,并運(yùn)用CDA(壓縮空氣)對石墨舟內(nèi)碎片進(jìn)行收拾,結(jié)束后設(shè)備人員將其抬入現(xiàn)已配好必定比例HF溶液的酸槽中進(jìn)行清洗。
二、石墨舟的清洗
1、翻開酸槽排水閥,待廢酸排盡,用水槍對酸槽進(jìn)行沖刷。
2、關(guān)上閥門,將石墨舟放進(jìn)酸槽中,翻開進(jìn)水閥門,往酸槽里放入純水直到水能夠吞沒石墨舟接連,關(guān)閉水閥。然后在酸槽加入HF酸(4瓶),把清洗機(jī)的窗戶關(guān)好,然后初步清洗(要在酸中浸泡6個(gè)小時(shí)左右)。清洗過程中戴好防酸堿手套,將石墨舟從酸槽中取出檢查是否清洗潔凈,假如到時(shí)刻還未洗潔凈,再繼續(xù)清洗,直到潔凈接連。
3、清洗潔凈之后,放入水槽,用水槍沖刷后關(guān)上排水閥,放水,以水沒過舟為準(zhǔn), 漂洗一般需2個(gè)小時(shí)。
4、清洗結(jié)束后,將石墨舟從水槽中取出,用氣槍吹掉表面顯著的水珠。
5、將石墨舟抬入專用烘箱,關(guān)上烘箱門鎖緊;翻開電源開關(guān)—風(fēng)機(jī)開關(guān)—升溫開關(guān)—報(bào)警開關(guān);溫控表設(shè)定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(shí)(經(jīng)過查驗(yàn)石墨舟在烘箱烘干后與運(yùn)用前的石墨舟無差別方可取出)。
6、設(shè)定溫度20度,一般降溫半個(gè)小時(shí)烘箱里的石墨舟抵達(dá)常溫,能夠取出。
7、將石墨舟上的悉數(shù)螺母扭緊并檢查石墨舟悉數(shù)的陶瓷件,需求替換工藝點(diǎn)的石墨舟,取出后需求入修補(bǔ)間專用貨架等候修補(bǔ)。
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