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在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。

現(xiàn)有的石墨舟工藝點主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個且對稱分布在安裝部兩端面上，卡塊是自外向內漸縮的圓柱體，其端面與側面之間采用圓弧過渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時，會出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴重，且在做MUL和NY工藝時，工藝點會燒焦，尤其是做MUL工藝時，工藝點燒焦加重，燒焦比例一度超過30％。因此在日常生產中，管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服現(xiàn)有技術中管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低的問題，提供一種管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括石墨舟輸送裝置和工藝點壓裝裝置，所述工藝點壓裝裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方。

進一步的，所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上。

進一步的，為了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夾具包括底板，所述底板上固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上開有直角開口，兩個所述安裝塊對稱設置，所述底板上開有螺紋孔，所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘，所述底板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相應的工藝盲孔。

進一步的，所述工藝盲孔的深度與工藝點中卡塊的高度相等，便于在工藝點的安裝過程中，限制工藝點在該工藝孔中的位置。

進一步的，所述工藝點壓裝裝置包括導向裝置和壓點裝置，所述導向裝置與所述壓點裝置相對設置。

進一步的，所述導向裝置包括導向板和驅動導向板升降的升降裝置，所述導向板固定安裝在所述升降裝置上，所述導向板上開有若干導向孔，若干所述導向孔與石墨舟上的工藝孔相對應，所述導向板上表面導向孔所在位置處固定安裝有導向套筒，所述導向孔與所述導向套筒同軸心。

進一步的，所述壓點裝置包括壓板和驅動壓板升降的升降裝置，所述壓板固定安裝在所述升降裝置上，所述壓板上固定安裝有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的壓桿，所述壓桿與所述導向套筒同軸心。

進一步的，為了簡化本實用新型的整體結構，所述移動裝置為絲桿驅動裝置，包括絲桿，絲桿轉動裝置、具有滑槽的導軌和滑塊所述絲桿驅動裝置與所述絲桿固定連接，所述滑塊與所述絲桿傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌內。

進一步的，為了簡化本實用新型的整體結構，所述升降裝置為推動缸。

本實用新型的有益效果是:本實用新型包括石墨舟固定夾具和驅動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好石墨舟后，使用移動裝置將固定好的石墨舟移動到導向板的正下方，導向板通過升降裝置下移到與石墨舟上表面接觸，在導向板的導向套筒內放置工藝點，最后通過工藝點壓點裝置將工藝點安裝在石墨舟的工藝孔內，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動生產率。

圖中：1.底板，2.安裝塊，3.直角開口，4.螺釘，5.工藝盲孔，6.導向板，7.導向孔，8.導向套筒，9.壓板，10.壓桿，11.絲桿，12.導軌，13.電機，14.升降氣缸，15.底座，16.支架，17.橫梁，18.石墨舟。

具體實施方式

現(xiàn)在結合附圖對本實用新型做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1和圖2所示的一種管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括底座15，底座15上設有兩條平行導軌12，絲桿11轉動安裝在底座15上，絲桿11通過電機13驅動轉動，絲桿11上傳動安裝滑塊，滑塊上固定安裝底板1，如圖3所示。兩個底板1間隔安裝，所述底板1上固定安裝有安裝塊2，所述安裝塊2上開有直角開口3，兩個所述安裝塊2對稱設置，所述底板1上開有螺紋孔，所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘4，所述底板1上開有若干與石墨舟18上的工藝孔相對應的工藝盲孔5，如圖5所示，工藝盲孔5的深度與工藝點中卡塊的高度相等，便于在工藝點的安裝過程中，限制工藝點在該工藝孔中的位置。

底座15上底板1所在導軌12的兩側均固定安裝支架16，支架16上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端固定安裝導向板6，所述導向板6上開有若干導向孔7，如圖6所示，若干所述導向孔7與石墨舟18上的工藝孔相對應，所述導向板6上表面導向孔7所在位置處固定安裝有導向套筒8，所述導向孔7與所述導向套筒8同軸心。

所述底座15上通過支架16固定安裝一條橫梁17，橫梁17上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端與如圖7所示的壓板9固定連接，壓板9位于導向板6的正上方，所述壓板9上固定安裝有若干與石墨舟18上的工藝孔相對應的壓桿10，所述壓桿10與所述導向套筒8同軸心。

工作過程：

1、在石墨舟安裝固定夾具的底板1上固定安裝石墨舟18，如圖4所示，安裝好的石墨舟18上的工藝孔與底板1上的工藝盲孔5一一對應。

2、啟動石墨舟輸送裝置中的電機13，電機13轉動，帶動絲桿11轉動，絲桿11轉動，帶動滑塊移動，滑塊帶動底板1向導向板6移動，待底板1移動到導向板6的正下方，石墨舟18上的工藝孔與導向板6中的導向孔7一一對應時，關閉電機13，由于一根絲桿11上安裝有兩個底板1，兩個底板1間隔設置，在一個底板1位于導向板6正下方時，另一個底板1遠離導向板6，方便在底板1上安裝石墨舟18。

3、啟動驅動導向板6升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動導向板6向導向板6正下方的底板1移動，待導向板6的下表面與石墨舟18的上表面接觸時，關閉升降氣缸14。

4、將工藝點放入導向板6上的導向套筒8內，由于導向套筒8的內半徑與工藝點的半徑相等，工藝點上的卡塊上下設置，進入導向套筒8內。

5、啟動驅動壓板9升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動壓板9向導向板6靠近，壓桿10伸入導向套筒8內，推動導向套筒8內的工藝點向下運動，待工藝點下方的卡塊與底板1上工藝盲孔5的底部接觸時，升降氣缸14收縮，帶動壓板9遠離導向板6，升降氣缸14復位后，關閉升降氣缸14。

以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。